第2天一早,段云就来到了芯片厂。

  两名荷兰专家在前天的时候,已经回到了深圳,并且住在了工厂旁边的招待所中。

  这是荷兰专家带来了很多的工具和仪器,大部分段云都是从来没见过的,也不知道这些仪器的功能是什么。

  虽然这两名荷兰工程师确实有些贪财,但是工作起来却非常的卖力,回到深圳的当天下午,他就已经通过段云挑选组织的一个安装团队,包括7名以前在日本培训过的技术员,另外还有二十几名搬运工,公司的专职翻译陈铁生和李芸担任中方联络人,负责协调工作。

  这几台阿斯麦的光刻机非常精密,任何一个部件的磨损和擦伤,都可能导致整台机器精度的下降,不过值得庆幸的是,尽管横越了半个地球,然后又被装到铁甲大飞上逆风斩浪,但是包装厚实关键零部件并没有受到损伤,通过仪器的测试之后,也让两名荷兰工程师松了一口气。



  然而把这些机器送入无尘车间并不是一件简单的事情,为了避免灰尘的带入,所有零部件在进入车间之前,还要经过一系列的除尘处理,这才能进入车间。

  另外和普通机器不同的是,阿斯麦的光刻机他是有一个完备的安装手册的,手册多达上百页,大部分都是一些安装数据参数,所有零部件都是有编号的,必须要按次序安装,而且这其中一颗螺丝的安装需要多大的力度,每一块镜片的偏差度多少,都是有严格标注的,另外光是底座的找平,就花费了整整一个上午的时间。

  其实这个年代的光刻机远不如后世的光刻机那么复杂,2000年之后的阿斯麦光刻机,至少都是在10万个零部件左右,而现如今只有不到1万多个零部件,和汽车差不多相仿,然而组装的难度却依旧不小。

  一微米制程的阿斯麦光刻机,完全称得上是当今世界上最先进的光刻机,他们用的还是德国蔡司镜头,从参数上来看,分辨率可以达到0.65微米左右,这应该是世界上最强的光学镜头。

  虽然日本的尼康光刻机占据了国际市场的80%的份额,但实际上尼康的光学镜头分辨率要稍逊一筹,在0.7微米左右虽然只相差0.05微米的分辨率,但这种差距实际上并不容易弥补。

  而尼康的光刻机之所以远比阿斯麦光刻机畅销,究其原因主要还是因为日本国内厂商对本国光刻机的支持,以及美国对于欧洲技术超越的戒备,所以大部分情况下他们也会采购日本的-->>

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